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JSM-IT100
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基本性能
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二次电子像分辨率
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4 nm (20 kV)
8 nm (3 kV)
15 nm (1 kV)
3 nm (30 kV)
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背散射电子像分辨率
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4.0 nm (30 kV)
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加速电压
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0.5 to 30kV
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放大倍数
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5x to 300,000x
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EDS 分析位置: WD 10 mm, 取出角 35 度
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电子光学系统
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电子枪
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工厂预对中灯丝
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电子枪偏压
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无缝式自偏压
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聚光镜
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可变焦聚光镜
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物镜
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超级圆锥形物镜
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物镜光阑
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3段式可动(带XY轴微调)
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像散存储器
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内置
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图像移动
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±50μm(WD 10 mm)
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探测器
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二次电子探测器
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高灵敏度半导体型背散射电子探测器 可选
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自动化功能
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自动灯丝加热
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内置
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自动枪对中
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内置
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自动聚焦
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内置
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自动消像散
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内置
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自动亮度和对比度调整
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内置
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样品室
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最大样品尺寸
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152 mm (直径)
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可支持的选购附件
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EDS, WDS, EBSD, CLD, SHIC, SCU, Raman
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样品台
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X
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0 ~ 80 mm
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Y
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0 ~ 40 mm
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Z
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5 ~ 48 mm
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R
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360 度
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T
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-10 ~ 90 度
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最大视野范围
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127 mm (直径)
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最大样品高度
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53 mm
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马达驱动
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2 (X, Y)
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图像显示系统
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PC、OS
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Windows®7
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显示器
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23” LCD
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图像存储像素
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640x480, 1280x960, 2560x1920 pixels
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图像显示像素
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1 frame: 1280x 960
2 frames: 640x480
4 frames: 320x240
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图像保存格式
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Format: BMP, TIFF, JPEG
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操作系统
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操作导航器
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位于显示屏下端的操作导航器可控制以下功能:用户管理, 样品交换, 菜单, 成像, 打印, 参数设定, 维护
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测量功能
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平行线间距测量
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垂直, 水平, 对角
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2点之间距离测量
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任意2点间距离
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圆的测量
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直径, 2个圆中心间距离
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角度测量
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角度
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面积测量
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圆和多角形
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计数
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颗粒统计
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真空系统
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类型
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全自动抽真空系统,分子泵,机械泵
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外观
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基本单元尺寸
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750 mm (横) x 1,000 mm (纵) x 1,445 mm (高)
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基本单元重量
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325 公斤
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安装要求
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室温
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20 ± 5℃
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湿度:
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低于60%
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供电
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单相 AC220 V, 50/60 Hz, 3 kVA
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