扫描电镜JSM-IT100
2019/9/12
电子光学系统的特点：
1. 分辨率 (Resolution)：4.0nm @20KV，8nm@ 3KV，15nm @1kV
3.0nm @30KV
既保证高电压下的高分辨率，也可提供低电压下高质量的图像，使用低加速电压还可以进行样品的极表面形貌的观察。
2.全自动电子枪 (Fully Automated Electron Gun)
当真空度达到要求后，只需按下HT按钮，加速电压的提升、灯丝的加热及图像的自动出现全部自动完成。栅偏压的自动调整和消像散的自动记忆功均能自动实现。
3.大视野观察范围（Large Field of View）
最低的放大倍数可达5倍，可观测到2厘米见方的样品，便于用户分析寻找样品。
4.高精度的变焦聚光镜系统 (Precision Zoom Condenser lens)
探测电流发生变化时，图像的聚焦状态可保持不变，结合能谱仪使用尤为方便。
5.超级圆锥形物镜 (Super Conical Objective Lens)
超级圆锥形物镜允许样品在较小的工作距离下，得到较大的倾斜角。在10mm WD的距离下，完成能谱的分析工作的同时可得到高分辨的图像。
6.高灵敏度半导体背散射探头 (High sensitivity semiconductor detector)
此探头是日本电子的专利产品，它可提供三种图像：成分像、形貌像和立体像。
7.全对中的样品台 (Eucentric Stage)
这种样品台保证样品平移或倾动时，被观察点聚焦状态不变,而且JSM-6510LV在任何工作距离下均能保持这种功能。
8.各种图像混合功能：可以同时得到二次电子像和背散射电子像；也可以按比例进行混合得到混合像，并按要求在一种图像中的局部得到另外一种图像。
9.全新导航式的GUI操作系统
全新的GUI操作系统可以支持更多的功能来提高操作的便利性，例如同时显示2幅实时图像以及导航式的操作界面。同时并列显示2幅实时图像（例如二次电子像和背散射电子像）
10.无缝式偏压功能
JSM-IT100从0.5KV到30KV的全加速电压范围内对电子枪的偏压进行连续自动调整以获得最佳的图像亮度。
JSM-IT100 技术参数：
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JSM-IT100
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基本性能
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二次电子像分辨率
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4 nm (20 kV)
8 nm (3 kV)
15 nm (1 kV)
3 nm (30 kV)
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背散射电子像分辨率
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4.0 nm (30 kV)
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加速电压
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0.5 to 30kV
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放大倍数
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5x to 300,000x
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EDS 分析位置: WD 10 mm, 取出角 35 度
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电子光学系统
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电子枪
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工厂预对中灯丝
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电子枪偏压
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无缝式自偏压
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聚光镜
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可变焦聚光镜
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物镜
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超级圆锥形物镜
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物镜光阑
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3段式可动(带XY轴微调)
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像散存储器
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内置
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图像移动
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±50μm（WD 10 mm）
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探测器
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二次电子探测器
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高灵敏度半导体型背散射电子探测器 可选
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自动化功能
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自动灯丝加热
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内置
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自动枪对中
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内置
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自动聚焦
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内置
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自动消像散
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内置
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自动亮度和对比度调整
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内置
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样品室
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最大样品尺寸
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152 mm （直径）
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可支持的选购附件
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EDS, WDS, EBSD, CLD, SHIC, SCU, Raman
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样品台
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X
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0 ~ 80 mm
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Y
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0 ~ 40 mm
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Z
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5 ~ 48 mm
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R
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360 度
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T
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-10 ~ 90 度
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最大视野范围
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127 mm （直径）
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最大样品高度
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53 mm
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马达驱动
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2 (X, Y)
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图像显示系统
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PC､OS
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Windows®7
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显示器
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23” LCD
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图像存储像素
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640x480, 1280x960, 2560x1920 pixels
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图像显示像素
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1 frame: 1280x 960
2 frames: 640x480
4 frames: 320x240
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图像保存格式
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Format: BMP, TIFF, JPEG
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操作系统
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操作导航器
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位于显示屏下端的操作导航器可控制以下功能:用户管理, 样品交换, 菜单, 成像, 打印, 参数设定, 维护
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测量功能
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平行线间距测量
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垂直, 水平, 对角
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2点之间距离测量
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任意2点间距离
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圆的测量
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直径, 2个圆中心间距离
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角度测量
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角度
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面积测量
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圆和多角形
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计数
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颗粒统计
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真空系统
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类型
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全自动抽真空系统，分子泵，机械泵
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外观
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基本单元尺寸
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750 mm (横) x 1,000 mm (纵) x 1,445 mm (高)
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基本单元重量
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325 公斤
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安装要求
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室温
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20 ± 5℃
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湿度:
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低于60%
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供电
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单相 AC220 V, 50/60 Hz, 3 kVA
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